Las salas limpias modulares están diseñadas con una lógica de "bloques de construcción", lo que permite a las fábricas de semiconductores adaptar la distribución del espacio según los requisitos específicos del proceso.
Por ejemplo, las áreas de fotolitografía, grabado y empaquetado se pueden configurar con diferentes niveles de limpieza (de ISO 1 a ISO 9) de forma independiente.
Esta flexibilidad elimina la necesidad de reconstrucciones a gran escala al actualizar las líneas de producción, lo que reduce significativamente el tiempo de inactividad.
Los paneles modulares, generalmente hechos de aleación de aluminio o acero galvanizado, se pueden montar y desmontar rápidamente, lo que permite una rápida expansión o ajuste de las áreas de sala limpia a medida que cambian las escalas de producción.
Cada unidad de sala limpia modular está diseñada con sistemas de sellado integrados, que incluyen juntas con empaquetaduras y controles de diferencial de presión, para prevenir la contaminación cruzada entre zonas.
Los sistemas HVAC también están modularizados, con unidades de manejo de aire (AHU) dedicadas para cada sección, lo que garantiza un control preciso de la temperatura (±0.5 °C), la humedad (±2 %) y el recuento de partículas.
Los filtros de aire de partículas de alta eficiencia (HEPA) o de aire de penetración ultrabaja (ULPA) están integrados en los paneles del techo y las paredes, proporcionando un flujo de aire laminar unidireccional que minimiza la acumulación de partículas en las obleas.
Además, las salas limpias modulares cuentan con sistemas integrados de drenaje de pisos y gestión de residuos, que contienen materiales peligrosos dentro de zonas específicas para evitar la propagación de contaminantes.
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