El sistema de filtración en una sala limpia de semiconductores es una pieza clave del equipo para mantener el ambiente interno limpio y libre de polvo.Para garantizar el funcionamiento eficaz del sistema de filtración y prolongar su vida útil, tenemos que tomar una serie de medidas de mantenimiento y mantenimiento.
Limpieza regular del filtro: el filtro en la sala limpia de semiconductores es el componente central para garantizar la limpieza del aire,Por lo tanto, el filtro debe limpiarse o reemplazarse con regularidad para evitar que el polvo y las partículas obstruyan el material del filtro y afecten su efecto de filtración.Al limpiar el filtro, se deben utilizar limpiadores y herramientas especiales para evitar dañar el material del filtro.
El estado de funcionamiento del sistema de escape afecta directamente a la calidad del aire de la sala limpia.La inspección incluye ventilador, conducto de aire, puerto de escape y otros componentes, si se encuentra dañado o defectuoso, debe ser reparado o reemplazado a tiempo.
Mediante la instalación de equipos de monitoreo de la calidad del aire, la calidad del aire de la sala limpia de semiconductores puede monitorearse en tiempo real,para que los problemas de calidad del aire puedan detectarse a tiempo y se puedan tomar las medidas correspondientesPor ejemplo, cuando la concentración de partículas en el aire excede el valor establecido,el filtro de reserva puede activarse o el número de tiempos de limpieza puede aumentarse para reducir la concentración de partículas.
Los consumibles y los accesorios de las salas limpias de semiconductores, como las gorras y guantes quirúrgicos, deben reemplazarse periódicamente para garantizar su limpieza y esterilización.Cuando se sustituyan consumibles y accesorios, se debe tener cuidado de seleccionar productos que cumplan los requisitos y sigan los procedimientos de funcionamiento prescritos.
Los operadores de salas limpias de semiconductores deben recibir una formación sistemática para comprender el principio, el funcionamiento y los métodos de mantenimiento del sistema de filtración.y mejorar las habilidades de operación y la conciencia de seguridadA través de la formación, los operadores pueden comprender mejor las condiciones de funcionamiento del sistema de filtración, detectar y resolver los problemas a tiempo.
De acuerdo con la situación real de la sala limpia de semiconductores, elaborar un plan detallado de mantenimiento del sistema de filtración, que incluya el ciclo de limpieza, el ciclo de inspección, el ciclo de sustitución, etc.El mantenimiento de acuerdo con el plan puede garantizar el funcionamiento estable a largo plazo del sistema de filtración y el efecto de filtración.
Establecer registros de mantenimiento y registros de mantenimiento del sistema de filtración para registrar el tiempo, el contenido, el personal y otra información de cada mantenimiento.puede comprender el estado de funcionamiento del sistema de filtración y los problemas existentes, y encontrarlos y resolverlos a tiempo.
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